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兩個旋片把轉子、定子內腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分,當轉子按圖示方向旋轉時,與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大,A空間的壓強不斷的降低,當A空間內的壓強低于被抽容器內的壓強,根據(jù)氣體壓強平衡的原理,被抽的氣體不斷地被抽進吸氣腔A,此時正處于吸氣過程。Alcatel分子泵控制器維修
1. 泵油量不足或油溫過高
泵油量不足會導致泵內缺少潤滑,從而使得機械泵軸承過熱,出現(xiàn)異常聲音。此時需要檢查油箱內油的余量,若不足需及時添加。
油溫過高則說明泵內散熱不良,需及時清洗冷卻器并檢查散熱風扇是否正常工作。Alcatel分子泵控制器維修
在抽除有毒、腐蝕性等對人體有害的氣體時,拆卸前,請先使用N2對真空泵進行清掃,務必使殘留氣體盡數(shù)排出。請注意,運行時真空泵零部件溫度很高,請在泵完全冷卻后再行拆裝,以免傷到自己。Alcatel分子泵控制器維修
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間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉速可高達3450~4100轉/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:單級為6.5×10^2帕,雙級為1×10^3帕。阿爾卡特進口泵維修
利用機械方法獲得真空的設備稱為機械真空泵或機械泵,其中主要的是轉動泵、分子泵和羅茨泵三種。阿爾卡特進口泵維修
轉動泵可分為多葉片、活塞式、油封式等兒個大類,其中以油封式*為常用。油封式轉動泵又可分為旋片式定片式滑閥式等三種,它們的工作原理基本相同。
葉輪旋渦的速度和形狀是由旋渦的運動來決定的,而葉輪旋轉速度和形狀又是由流道的形狀來決定。如果葉輪在轉動時,其中一種旋渦占優(yōu)取決于葉輪軸承,另一種則占優(yōu)取決于其他兩種旋渦
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高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強,傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。adixen ATH400M分子泵維修,因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間,因為隨著壓力降低泵的抽速在減小,特別是對于周期性抽氣的真空機組,對達到工作真空度的時間是有要求的,預抽時間越長,進入工作真空度的時間也越長,故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合,可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力,這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力,保證了設備的使用效率。adixen ATH400M分子泵維修
由于負荷大,轉子和殼體溫差不斷zeng高,使間隙不斷增大,這會使首逆流增大,引起羅茨真空泵抽速下降。為了克服這個缺點,羅茨泵在高負荷下工作時,需要采用有效措施,一般是將羅茨真空泵的外殼和轉子同時采用油循環(huán)系統(tǒng)進行冷卻。adixen ATH400M分子泵維修
隨著螺旋升角和牽引槽深度增大,氦質譜檢漏儀的靈敏度均先提高后下降;增大轉子與定子間隙,不利于氦質譜檢漏儀靈敏度的提高;選取螺旋升角為22°、牽引槽深為 2.5 mm、轉子與定子間隙為 0.3 mm時,氦質譜檢漏儀具有較高的靈敏度,同時復合分子泵牽引級性neng可靠且結構安全。adixen ATH400M分子泵維修
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